等离子体增强原子层沉积系统及其应用研究

作     者：万军 饶志鹏 方攸同 陈波 李超波 夏洋 

作者机构：浙江大学电气工程学院杭州310027 中国科学院微电子研究所微电子集成电路重点实验室北京100029 嘉兴科民电子设备技术有限公司嘉兴314006 

基　　金：极大规模集成电路制造装备及成套工艺项目(2009ZX02039) 中国科学院科研装备研制项目(YZ200755) 中国博士后基金资助项目(2011M500996) 中国博士后基金特别资助项目(2012T50513) 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2014年第34卷第2期

页      码：192-196页

摘      要：介绍了自行设计的等离子体增强原子层沉积(PEALD)系统及其原位制备氮掺杂纳米TiO2可见光催化剂的实验结果。PEALD系统主要由远程脉冲感应耦合等离子体发生器、真空反应腔室、真空系统、前驱体输运系统、控制系统等部分组成。沉积过程中前驱体的交替、等离子体的产生、样品台温度、载气流量、沉积周期等参数都可以预先设定并由控制系统自动执行。在研制的PEALD系统上首次开展原位氮掺杂纳米TiO2光催化剂的制备,高分辨透射电镜结果表明制备的氮掺杂TiO2薄膜为非晶态结构,薄膜厚度为3 nm,生长速率为0.05 nm/cycle;X射线光电子能谱结果表明N元素掺入到了制备的TiO2薄膜,并取代了TiO2薄膜中的O元素;紫外-可见光谱表明制备的氮掺杂TiO2薄膜对可见光的吸收率明显增强。

主 题 词：等离子体增强原子层沉积 原位掺杂 氮掺杂TiO2 结构表征 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 0817[工学-轻工类] 0806[工学-电气类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 0703[理学-化学类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-7126.2014.02.19

馆 藏 号：203111964...