超灵敏度检漏技术在高抽速自动排气系统中的应用

作     者：田明利 邱立 董云宁 陈俊儒 陈又琦 唐榕 张吉峰 TIAN Ming-li;QIU Li;DONG Yun-ning;CHEN Jun-ru;CHEN You-qi;TANG Rong;ZHANG Ji-feng

作者机构：中国电子科技集团公司第十二研究所北京100016 北京东方计量测试研究所北京100086 北京市真空计量检测工程技术研究中心北京100029 北京真空电子科技有限公司北京100016 

出 版 物：《真空》 (Vacuum)

年 卷 期：2022年第59卷第3期

页      码：63-67页

摘      要：为解决行波管排气和真空封装工艺过程中的微小漏率检测问题,将超灵敏度检漏技术集成在高抽速自动排气系统中。设计的装置主要由主真空系统、外真空及烘箱系统、累积比较检漏系统、标准气体流量系统及控制系统等组成。排气系统设计为八工位结构,空载时极限真空度达到超高真空范围,烘箱可进行高温加热,该系统采用程序控制,具有自动采集、存储、分析和传输功能,实现排气工艺全过程自动化。标准气体流量系统可提供5×10^(-7)~5×10^(-16)Pa·m^(3)/s范围的标准气体流量,集成的超灵敏度检漏下限可达5×10^(-16)Pa·m^(3)/s,整套装置对行波管漏率检测结果的合成标准不确定度小于15%。

主 题 词：行波管 超灵敏检漏 气体微流量 不确定度 

学科分类：08[工学] 

D　O　I：10.13385/j.cnki.vacuum.2022.03.13

馆 藏 号：203111983...