W波段直板型电容式MEMS开关设计

作     者：曹钎龙 吴倩楠 韩路路 王宇 李孟委 CAO Qianlong;WU Qiannan;HAN Lulu;WANG Yu;LI Mengwei

作者机构：中北大学南通智能光机电研究院江苏南通226000 中北大学仪器与电子学院山西太原030051 中北大学前沿交叉科学研究院山西太原030051 

基　　金：装备发展部新品项目(2018NW0026,2019NW0010) 中北大学青年学术带头人项目(QX201905) 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2022年第41卷第6期

页      码：74-77页

摘      要：针对卫星通信、6G通信、物联网技术等射频前端系统对电子元器件高频工作性能的需求,设计了一种工作在W波段的直板型电容式射频(RF)单刀双掷开关。通过优化介电层材料和开关电极之间的空气间隙,降低了插入损耗、提高了隔离度等射频性能指标。利用HFSS电磁仿真软件对开关性能进行了数值模拟计算,仿真结果表明:所设计射频单刀双掷MEMS开关在80~100 GHz范围内,其插入损耗小于1.7 dB,隔离度大于40 dB,开关整体尺寸约为1.6 mm×1.6 mm。此开关能够满足射频系统前端对高频电子元器件的性能需求,在微波测试仪器、新一代通信系统中具有一定的应用价值。

主 题 词：射频微机电系统 W波段 单刀双掷 插入损耗 隔离度 卫星通信 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.13873/J.1000-9787(2022)06-0074-04

馆 藏 号：203112032...