电子回旋共振等离子体辅助脉冲式沉积氧化铝薄膜的研究

作     者：桑利军 张跃飞 陈强 李兴存 Sang Lijun;Zhang Yuefei;Chen Qiang;Li Xingcun

作者机构：北京印刷学院印刷包装材料与技术北京市重点实验室北京102600 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2010年第30卷第3期

页      码：293-296页

摘      要：采用自行设计和加工的微波电子回旋共振装置、进气系统和工艺程序,以三甲基铝为前躯体,氧气为氧化剂,HF处理过的单晶硅片为基片,在无任何外加热条件下进行原子层沉积氧化铝薄膜的实验研究。利用X射线衍射、X射线光电子能谱、扫描电子显微镜、原子力显微镜、高分辨率透射电子显微镜等分析手段对薄膜进行了化学成分和微观结构的表征。结果表明,制备的氧化铝薄膜为非晶态结构,薄膜的表面非常光滑平整。薄膜的截面微观结构图像显示,薄膜厚度大约为80nm,界面清晰、按照周期数和层数线形生长规律进行生长。

主 题 词：电子回旋共振 原子层沉积 三甲基铝 氧化铝 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 0817[工学-轻工类] 0806[工学-电气类] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0703[理学-化学类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-7126.2010.03.16

馆 藏 号：203112051...