632.8 nm单色光高反膜设计及性能研究

作     者：赵亚丽 孟宇 赵雁冰 韩建新 ZHAO Ya-li;MENG Yu;ZHAO Yan-bing;HAN Jian-xin

作者机构：晋中学院材料科学与工程系山西晋中030619 晋中学院物理与电子工程系山西晋中030619 

基　　金：山西省教育厅高等学校科技创新项目“表面等离子激元辅助TCO超表面热发射/吸收机理研究”(2020L0575) 晋中学院博士基金启动项目“超冷原子气体中涡旋偶极子动力学研究”(jzxybsjjxm2019014) 晋中市科技重大研发项目“多功能节能环保建筑玻璃的研发”(Y201027) 山西省高等学校教学改革创新项目“用于构建学生知与智桥梁的AMRC项目式本科毕业论文模式的研究”(J2021652) 

出 版 物：《晋中学院学报》 (Journal of Jinzhong University)

年 卷 期：2022年第39卷第3期

页      码：59-63,108页

摘      要：较金属薄膜,全介质反射薄膜具有低损耗和高反射的独特优势,可应用于激光器大幅度增强其激光强度.但全介质反射层结构复杂,涉及膜层材料、厚度和层数等.为了获得高反射薄膜设计方法,本论文针对632.8 nm单色光激光器高反射膜的需求,构建了硫化锌和氟化镁交替全介质高反射薄膜.采用TFCalc研究膜层材料膜厚、层数和入射角度等对其性能影响规律.研究表明:随膜层数增加,反射率相应提高.当层数为奇数层11层时,反射率效果最佳;在632.8 nm的单色光的照射下,初始膜系厚度分别设置为67.31 nm和114.63 nm,可满足激光器表面膜层高反射需求.在入射角度0°~40°范围内反射率均可实现99.5%~99.8%,可满足激光器表面膜层的性能要求.

主 题 词：高反膜 膜厚 膜层数 入射角度 反射率 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1673-1808.2022.03.014

馆 藏 号：203112369...