波长调制型光波导集成MOEMS加速度传感器设计

作     者：石云霞 SHI Yunxia

作者机构：上海应用技术大学电气与电子工程学院上海201418 

出 版 物：《应用技术学报》 (Journal of Technology)

年 卷 期：2022年第22卷第2期

页      码：138-143页

摘      要：为了设计一种高灵敏度、稳定性好、测试简便的光学加速度计,选择了对光源稳定性要求低、抗噪能力强的波长调制检测模块。基于建立的光学模型,分析了活动光栅数、光栅间距和光栅厚度等主要影响因素。根据透射光谱的变化规律,获得了满足加速度计需求的模型尺寸和结构。结合微细加工条件,设计出加速度计的微机械结构。经仿真计算,传感器的机械灵敏度为3.83μm/g,光学检测灵敏度为0.52μm/g,分辨率为19×10^(–6) g,谐响应频率为471 Hz。提出的高分辨率加速度计适用于强磁场、远程遥控等环境中的振动监测。

主 题 词：微光机电加速度计 波长调制 光波导 光学优化 高精度 

学科分类：08[工学] 080203[080203] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.2096-3424.2022.02.006

馆 藏 号：203112394...