电热微驱动器的热管理设计及温度场建模分析

作     者：张段芹 冯炳昊 李明亮 刘旭玲 曹宁 ZHANG Duanqin;FENG Binghao;LI Mingliang;LIU Xuling;CAO Ning

作者机构：郑州轻工业大学机电工程学院郑州450002 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(52005453) 河南省高等学校重点科研项目(22B460030) 河南省重点研发推广专项(科技攻关)项目(222102220032,212102210359) 

出 版 物：《机械设计与研究》 (Machine Design And Research)

年 卷 期：2022年第38卷第2期

页      码：182-186,192页

摘      要：在传统V型电热微驱动器的基础上提出热管理设计,使焦耳热集中在V型驱动梁上,并增设热阻和热沉有效阻止热流流入执行末端。采用集总参数法建立真空环境中稳态热路模型,快速获取关键点温升与理想最大温升的关系。通过有限元仿真验证温度场模型的准确性,分析表明热管理下的电热微驱动器不仅能够抑制末端温升而且能够提高驱动部分温升与输出位移的稳定性。

主 题 词：电热微驱动器 热管理 温度场建模 稳定性 MEMS 

学科分类：07[理学] 070205[070205] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.13952/j.cnki.jofmdr.2022.0010

馆 藏 号：203112413...