RF MEMS电感的研究与进展

作     者：王彦丰 廖小平 黄庆安 

作者机构：东南大学教育部MEMS重点实验室南京210096 

出 版 物：《电子器件》 (Chinese Journal of Electron Devices)

年 卷 期：2004年第27卷第2期

页      码：354-359,323页

摘      要：无线通信的迅速发展 ,对高性能电感有迫切的需要。本文介绍了目前电感的发展状况 ,包括表面螺旋电感、垂直平面螺旋电感、悬浮螺旋电感和螺线管电感。对各种电感的性能进行了比较 ,讨论了电感设计所需考虑的问题及相关因素 ,对各种电感的加工工艺作了介绍。总结了各种电感的品种因数。

主 题 词：微加工电感 邻近效应 趋肤效应 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1005-9490.2004.02.033

馆 藏 号：203112479...