可调谐氮化硅波导微环谐振腔滤波器研究

作     者：丁森 恽斌峰 徐素红 胡国华 崔一平 DING Sen;YUN Bin-feng;XU Su-hong;HU Guo-hua;CUI Yi-ping

作者机构：东南大学先进光子学中心江苏南京210096 河海大学水利水电学院江苏南京210098 

出 版 物：《光电子．激光》 (Journal of Optoelectronics·Laser)

年 卷 期：2015年第26卷第8期

页      码：1486-1491页

摘      要：设计并制备了一种基于热光效应的集成可调谐氮化硅(Si3N4)波导微环谐振腔滤波器,通过采用马赫-曾德干涉仪(MZI)构成的可调谐耦合器控制耦合区耦合比,以实现滤波器消光比的调谐。设计并优化了微环谐振腔的波导截面尺寸、弯曲半径和耦合区波导间隔等参数,并通过光刻、反应离子刻蚀(RIE)等工艺制备了两种不同弯曲半径的Si3N4波导微环谐振腔。实验结果表明,本文器件在波长1 550nm附近处的自由光谱范围(FSR)为68pm,3dB带宽约为16pm,品质因子Q达到了9.68×104,消光比可调范围约为17dB。

主 题 词：微环谐振腔 氮化硅(Si3N4) 高品质 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.16136/j.joel.2015.08.0328

馆 藏 号：203112492...