毛细管X光透镜共聚焦技术在测厚中的应用

作     者：彭松 刘志国 孙天希 李玉德 刘鹤贺 赵为刚 赵广翠 林晓燕 罗萍 潘秋丽 丁训良 

作者机构：北京师范大学射线束技术与材料改性教育部重点实验室北京100875 北京师范大学核科学与技术学院北京100875 北京市辐射中心北京100875 

基　　金：国家自然科学基金项目(11075017 11179010) 北京市自然科学基金项目(1102019) 高等学校博士学科点专项科研基金项目(20100003120010) 北京市优秀人才培养项目(2010C009012000005)资助 

出 版 物：《光谱学与光谱分析》 (Spectroscopy and Spectral Analysis)

年 卷 期：2013年第33卷第8期

页      码：2223-2226页

摘      要：为了实现对薄膜和镀层材料厚度的微区无损分析,利用多毛细管X光会聚透镜和多毛细管X光平行束透镜设计并搭建了普通实验室X射线光源的共聚焦微束X射线荧光测厚仪,对该共聚焦测厚仪的性能进行了系统表征。利用该测厚仪测定了厚度约为25μm的Ni独立薄膜样品和压于硅基表面厚度约为15μm的Ni薄膜样品厚度,对应它们的相对测量误差分别为3.7%和6.7%。另外,还对厚度约为10μm Ni薄膜样品的厚度均匀性进行了测量。该共聚焦测厚仪可以对样品进行微区深度分析,并且具有元素分辨能力,从而使得该谱仪可以测量多层膜样品不同层的膜厚,在薄膜和镀层厚度表征领域具有潜在的应用。

主 题 词：X射线光学 共聚焦测厚 毛细管X光透镜 X射线荧光 

学科分类：081704[081704] 07[理学] 08[工学] 0817[工学-轻工类] 0804[工学-材料学] 070302[070302] 0703[理学-化学类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3964/j.issn.1000-0593(2013)08-2223-04

馆 藏 号：203112502...