新型的AlGaN/PZT材料紫外/红外双波段探测器

作     者：张燕 王妮丽 孙璟兰 韩莉 刘向阳 李向阳 孟祥建 ZHANG Yan;WANG Ni-li;SUN Jing-lan;HAN Li;LIU Xiang-yang;LI Xiang-yang;MENG Xiang-jian

作者机构：传感技术国家重点实验室中国科学院上海技术物理研究所上海200083 红外物理国家实验室中国科学院上海技术物理研究所上海200083 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60807037) 中国科学院知识创新工程青年人才领域前沿资助项目 

出 版 物：《红外与激光工程》 (Infrared and Laser Engineering)

年 卷 期：2009年第38卷第2期

页      码：210-212,255页

摘      要：提出了一种可以同时同位置探测紫外和红外信号的新型探测结构,分析了该结构的合理性,并对器件工艺进行了设计、分析和验证,制备出了AlGaN/PZT原型器件。该结构以AlGaN多层材料和PZT复合薄膜为基础,利用AlGaN宽禁带半导体的本征吸收和铁电薄膜的热电转化功能,实现对紫外和红外信号的电学响应。对该结构中各膜层的透射和吸收进行了测试和分析,在小于6μm的光谱测试范围内,宝石衬底的透过率约为80%,而AlGaN多层外延结构和多孔SiO2隔离层都对红外光吸收很少。结果证明:该结构可以实现不同吸收层对入射光束不同波段的吸收。以AlGaN器件工艺和溶胶-凝胶法制备PZT膜层为基础,研究了器件工艺,并最终研制出了首个AlGaN/PZT探测器件。

主 题 词：探测器 结构模型 透射光谱 铝镓氮/钛酸铝 

学科分类：0808[工学-自动化类] 080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 0825[工学-环境科学与工程类] 0704[理学-天文学类] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1007-2276.2009.02.005

馆 藏 号：203112525...