扫描干涉光刻机光束位姿自动准直系统设计

作     者：朱煜 王磊杰 张鸣 祁利山 ZHU Yu;WANG Leijie;ZHANG Ming;QI Lishan

作者机构：清华大学机械工程系摩擦学国家重点实验室北京100084 电子科技大学机械电子工程学院成都611731 

基　　金：清华大学摩擦学国家重点实验室基金(SKLT12C01) 

出 版 物：《清华大学学报（自然科学版）》 (Journal of Tsinghua University(Science and Technology))

年 卷 期：2015年第55卷第7期

页      码：716-721,733页

摘      要：针对扫描干涉光刻机对干涉光束的高精度位姿准直需求,设计了高精度光束自动准直系统;基于该系统提出了利用每步迭代调节后的位姿实测值作为下一步迭代的起始值进行迭代准直和正交平面内位姿交替准直的光束位姿迭代准直策略,解决了迭代过程误差积累问题和正交平面内电机耦合问题。实验结果显示:该光束自动准直系统能够实现两个位置准直精度均优于5μm和两个角度准直精度均优于3μrad,满足扫描干涉光刻机光束位姿准直精度需求。

主 题 词：光束自动准直 迭代准直策略 扫描干涉光刻机 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.16511/j.cnki.qhdxxb.2015.07.002

馆 藏 号：203112602...