一种新型高精度线性压电激励器的研制

作     者：段智勇 王庆康 DUAN Zhi-yong;WANG Qing-kang

作者机构：上海交通大学微米纳米科学技术研究院上海200030 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2005年第27卷第3期

页      码：263-266页

摘      要：报道了一种新型压电线性激励器,设计出它的结构,完成了器件制作。设计测试系统对其性能进行测试。器件的线性步进位移特性明显,具有步进模式和连续线性位移模式。行程可达几个厘米、位移分辨率为0.1μm、运行速度可达0.6mm/s。激励器结构简单,控制方便,适于研制闭环控制高精度定位系统。

主 题 词：激励器 光栅测试系统 纳米压电马达 闭环控制 

学科分类：080801[080801] 1002[医学-临床医学类] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0703[理学-化学类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-2474.2005.03.016

馆 藏 号：203112691...