砷烷的纯化技术研究进展

作     者：刘英杰 景显东 赵健 常琳 王雅婷 LIU Yingjie;JING Xiandong;ZHAO Jian;CHANG Lin;WANG Yating

作者机构：中昊光明化工研究设计院有限公司《低温与特气》期刊辽宁大连116031 中昊光明化工研究设计院有限公司辽宁大连116031 

出 版 物：《低温与特气》 (Low Temperature and Specialty Gases)

年 卷 期：2022年第40卷第3期

页      码：9-13页

摘      要：砷烷是发光二极管、超大规模集成电路、GaAs、GaAsP生长,N型硅外延、扩散、离子注入掺杂等不可缺少的重要原料,因此需要有极高的纯度。主要概述了砷烷常用的纯化方法,包括吸附法、低温冷冻/精馏法、膜分离法等。

主 题 词：砷烷 纯化 应用进展 

学科分类：081702[081702] 08[工学] 0817[工学-轻工类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1007-7804.2022.03.003

馆 藏 号：203112821...