基于ELCR的双模微波湿度传感器

作     者：丁书聪 梁峻阁 黄宜明 顾晓峰 DING Shucong;LIANG Junge;HUANG Yiming;GU Xiaofeng

作者机构：物联网技术应用教育部工程研究中心江南大学电子工程系江苏无锡214122 

基　　金：国家自然科学基金青年科学基金资助项目(61903160) 江苏省自然科学基金青年科学基金资助项目(BK20190581) 中国博士后第67批面上资助项目(2020M671439) 中国博士后第14批特别资助项目(2020T130283) 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2022年第41卷第7期

页      码：65-68,80页

摘      要：基于电耦合电感电容谐振器(ELCR)设计并制造了一种新型聚酰亚胺微波湿度传感器(PMHS),PMHS的双谐振点位置与幅度可按检测需求灵活调节。实验结果显示:在10%~90%RH的湿度范围内,PMHS在1.2 GHz处谐振点偏移量和2.085 GHz处反射系数增量与湿度变化成线性关系,双模线性度R^(2)分别为0.9854和0.9987,两者的检测灵敏度分别为83.8 kHz/%RH和0.117 dB/%RH。该研究表明:多谐振微波传感器可作为一种新方案实现宽范围、高线性度、高灵敏度的湿度检测。

主 题 词：电耦合电感电容谐振器 聚酰亚胺微波湿度传感器 双谐振点 高灵敏度 宽范围 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.13873/J.1000-9787(2022)07-0065-04

馆 藏 号：203112873...