伺服运动控制工作台精度误差分析

作     者：谭立杰 闫芸 宋婉贞 TAN Lijie;YAN Yun;SONG Wanzhen

作者机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所100176 

出 版 物：《电子工业专用设备》 (Equipment for Electronic Products Manufacturing)

年 卷 期：2022年第51卷第1期

页      码：53-56页

摘      要：以XY轴十字叠加伺服运动控制工作台为例,通过观测误差现象,从电气控制系统方面分析位置式数字PID控制器的精度误差产生原因,并提出减小误差的方法和验证方法。从工作台机械系统方面,分析精度误差产生原因,提出设计和选型标准。通过几方面的技术改进提高伺服运动控制工作台的定位精度、重复精度。

主 题 词：伺服控制 XY工作台 定位精度误差 重复精度误差 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-4507.2022.01.012

馆 藏 号：203113128...