软X光激光用多层膜反射镜的设计与性能模拟计算

作     者：张俊平 曹健林 马月英 高宏刚 陈斌 吕俊霞 裴舒 陈星旦 

作者机构：中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室 

出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期：1995年第15卷第8期

页      码：1088-1093页

摘      要：介绍在研制软Ｘ光激光用多层膜反射镜中发展起来的一套设计方法。给出了这类反射镜在现阶段所研究的部分Ｘ光激光波长下的设计结果。利用波动光学迭代方法模拟计算了反射镜的性能，并讨论了膜厚控制误差、表（界）面粗糙度等对性能的影响。

主 题 词：软X射线 多层膜 激光 反射镜 膜系设计 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

馆 藏 号：203113156...