五级金属油扩散泵的研制

作     者：徐成海 杨乃恒 姚民生 陈善德 伍伟 

作者机构：东北工学院 兰州真空设备厂 

出 版 物：《真空》 (Vacuum)

年 卷 期：1989年第26卷第2期

页      码：52-57页

摘      要：本文介绍一种具有大排气量的五级金属油扩散泵的设计与调试。这种泵的主要特点是：工作压强范围宽、在较高压强下有较大抽速、最大出口压强较高。典型Ｋ－５００泵的抽速是大于１００００升／秒，极限压强低于６．６×１０－５帕，最大前级压强大于５４帕，加热功率８千瓦左右。

主 题 词：泵 油扩散泵 金属 

学科分类：08[工学] 

D　O　I：10.13385/j.cnki.vacuum.1989.02.011

馆 藏 号：203113158...