基于F-P腔法的纳米精度非线性误差校准系统研究

作     者：孙文科 马骥驰 李岩 殷纯永 许婕 SUN Wen-ke;MA Ji-chi;LI Yan;YIN CHUN-yong;XU Jie

作者机构：清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室北京100084 中国计量科学研究院北京100013 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50410479)和(50575116) 

出 版 物：《光学技术》 (Optical Technique)

年 卷 期：2007年第33卷第5期

页      码：748-750页

摘      要：为了研究可用于纳米、亚纳米精度的非线性误差校准系统,采用差拍F-P干涉法,在中国计量科学研究院研制的差拍F-P干涉仪基础上,设计并制作了适用于该系统的密封干涉光路的真空系统。通过与电容式测微仪的比对实验,证明了系统的抗干扰能力得到了改善,在大于半波长的测量范围内,系统的非线性度优于3.86nm。

主 题 词：纳米测量 F-P腔 非线性误差校准 拍频干涉法 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1002-1582.2007.05.011

馆 藏 号：203113223...