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背入射Au/ZnO/Al结构肖特基紫外探测器

背入射Au/ZnO/Al结构肖特基紫外探测器

作     者:赵延民 张吉英 张希艳 单崇新 姚斌 赵东旭 张振中 李炳辉 申德振 范希武 ZHAO Yan-min;ZHANG Ji-ying;ZHANG Xi-yan;SHAN Chong-xin;YAO Bin;ZHAO Dong-xu;ZHANG Zhen-zhong;LI Bing-hui;SHEN De-zhen;Fan Xi-wu

作者机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激发态物理重点实验室吉林长春130033 中国科学院研究生院北京100039 长春理工大学材料科学与工程学院吉林长春130022 

基  金:中国科学院知识创新工程重要方向项目(KJCX3.SYW.WOI) 国家重点基础研究发展计划“973”计划课题(2008CB317105,2006CB04906) 国家自然科学基金(50772016)资助项目 

出 版 物:《发光学报》 (Chinese Journal of Luminescence)

年 卷 期:2010年第31卷第4期

页      码:527-530页

摘      要:设计制作了一种Au/ZnO/Al结构的紫外探测器,光的入射方式采用背入射式。ZnO薄膜是用磁控溅射在蓝宝石衬底上制备的。I-V测试表明:Au与ZnO形成了肖特基接触。得到探测器的光响应峰值在352nm,截止边为382nm,可见抑制比达一个量级。由于该探测器是一种垂直结构器件,对于进一步实现ZnO紫外探测器阵列及单光子探测有很好的研究价值。

主 题 词:紫外探测器 背入射 Au/ZnO/Al垂直结构 

学科分类:080903[080903] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 07[理学] 070205[070205] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 0827[工学-食品科学与工程类] 0703[理学-化学类] 0702[理学-物理学类] 1009[医学-法医学类] 

核心收录:

馆 藏 号:203113339...

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