Micro-LED巨量转移磁悬浮平台设计与磁路特性分析

作     者：牛萍娟 曹世楠 刘强 田海涛 白杰 NIU Pingjuan;CAO Shinan;LIU Qiang;TIAN Haitao;BAI Jie

作者机构：天津工业大学天津300387 北京石油化工学院北京102617 

基　　金：北京市自然科学基金面上项目(3212004) 北京石油化工学院重要科研成果培育项目(BIPTACF-007) 天津市科技计划项目(20YDTPJC01220)资助 

出 版 物：《微纳电子与智能制造》 (Micro/nano Electronics and Intelligent Manufacturing)

年 卷 期：2021年第3卷第3期

页      码：100-105页

摘      要：为解决Micro-LED巨量转移机械平台存在的摩擦力和振动不可控的缺陷,本文提出一种洛伦兹力磁悬浮平台设计方案。将平台的稳定悬浮作为设计目标,通过建立平台的三维模型,分析平台的结构特点,得到平台受力特性与稳定悬浮条件;基于等效磁路法建立平台的磁路数学模型,得到平台气隙磁密的计算公式;采用有限元法分析平台气隙处的磁场特性和电磁力特性,得到气隙处的最大磁场强度和磁密波动率。研究结果表明,本文提出的洛伦兹力磁悬浮平台的最大磁感应强度能够达到0.81 T,而磁密波动率仅为5.6%,能够满足Micro-LED巨量转移任务对平台精度的要求。

主 题 词：磁悬浮平台 巨量转移 等效磁路 磁密波动 

学科分类：08[工学] 080203[080203] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.19816/j.cnki.10-1594/TN.2021.03.100

馆 藏 号：203113350...