金属结合剂金刚石砂轮表面微槽的激光修整技术

作     者：郭泫洋 徐钰淳 曹剑锋 朱建辉 赵延军 赵金伟 师超钰 GUO Xuanyang;XU Yuchun;CAO Jianfeng;ZHU Jianhui;ZHAO Yanjun;ZHAO Jinwei;SHI Chaoyu

作者机构：超硬材料磨具国家重点实验室郑州450001 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司郑州450001 

出 版 物：《金刚石与磨料磨具工程》 (Diamond & Abrasives Engineering)

年 卷 期：2022年第42卷第3期

页      码：364-372页

摘      要：针对金属结合剂金刚石砂轮表面微槽修整困难的问题,采用红外纳秒激光器开展修整试验,探究激光功率、脉冲重复频率、激光烧蚀时间等因素对其材料去除的影响规律,并对U型和V型2种砂轮微槽提出梯度步进激光修整工艺。结果表明:修整后的砂轮微槽实际轮廓与设计轮廓对比,其顶部和底部实际宽度相对误差的绝对值最大为4.4%,实际深度相对误差的绝对值最大为9.6%。用修整后的砂轮V型微槽对直径为4英寸(10.16 cm)的蓝宝石晶圆边缘进行倒角,晶圆锐利的边缘被修整成规则形状,边缘轮廓对称度良好,且与激光修整后砂轮表面的微槽轮廓一致,验证了金属结合剂金刚石砂轮表面微槽激光成型修整的可行性。

主 题 词：激光加工 金属结合剂金刚石砂轮 微槽修整 晶圆边缘磨削 

学科分类：081702[081702] 080503[080503] 08[工学] 0817[工学-轻工类] 0805[工学-能源动力学] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

D　O　I：10.13394/j.cnki.jgszz.2021.3006

馆 藏 号：203113364...