四谱段TDICCD图像传感器的设计与制作

作     者：徐道润 刘业琦 袁安波 廖乃镘 曲鹏程 罗春林 张晓琴 XU Daorun;LIU Yeqi;YUAN Anbo;LIAO Naiman;QU Pengcheng;LUO Chunlin;ZHANG Xiaoqin

作者机构：重庆光电技术研究所重庆400060 

出 版 物：《半导体光电》 (Semiconductor Optoelectronics)

年 卷 期：2022年第43卷第3期

页      码：547-551页

摘      要：设计并研制了一种四谱段时间延迟积分电荷耦合器件(TDICCD)图像传感器,器件将四个TDICCD集成在同一芯片上,通过在光窗对应位置上镀不同的窄带滤光膜实现多谱段分光。该TDICCD图像传感器的像元尺寸为28μm×28μm,水平寄存器的有效像元数为3072元,行频为10 kHz,电荷转移效率高达0.99999,饱和输出电压为2650 mV,抗弥散能力大于等于100倍,动态范围为7143∶1。

主 题 词：时间延迟积分 四谱段 电荷耦合器件 图像传感器 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.16818/j.issn1001-5868.2022022601

馆 藏 号：203113383...