金属类MEMS器件可靠性试验技术研究

作     者：刘加凯 齐杏林 冯建伟 徐龙 肖东 LIU Jia-kai;QI Xing-lin;FENG Jian-wei;XU Long;XIAO Dong

作者机构：军械工程学院弹药工程系河北石家庄050003 武警工程大学装备工程学院陕西西安710086 78465部队四川广元628000 66440部队河北石家庄050081 

出 版 物：《军械工程学院学报》 (Journal of Ordnance Engineering College)

年 卷 期：2013年第25卷第2期

页      码：35-38页

摘      要：针对金属类MEMS机构可靠性水平较低且没有标准化的可靠性试验方法的现状，提出将强化试验方法引入金属类MEMS机构的可靠性研究中．确定强化试验的内容为温度循环、随机振动和冲击试验，并分别设计试验剖面．选取MEMS惯性开关作为典型器件开展试验研究，试验结果表明，所设计的可靠性试验能够有效激发MEMS机构的潜在缺陷，温度应力易引起MEMS器件层间产生疲劳效应，而振动和冲击应力则易引发器件结构性损坏；环境应力对MEMS机构具有疲劳累积效应，经历较多试验类型的样本较经历较少试验类型的样本更容易失效；惯性开关的主要失效模式是分层和变形，这2种失效模式在金属类MEMS机构中具有代表性．

主 题 词：金属MEMS器件 可靠性试验 惯性开关 失效模式 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1008-2956.2013.02.008

馆 藏 号：203113471...