基于阳极键合的环形静电谐振器的制作与测试

作     者：王俊铎 沈文江 WANG Junduo;SHEN Wenjiang

作者机构：中国科学技术大学纳米技术与纳米仿生学院合肥230026 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所江苏苏州215123 

出 版 物：《微电子学》 (Microelectronics)

年 卷 期：2022年第52卷第3期

页      码：484-491页

摘      要：设计了一种基于阳极键合的环形谐振器的制作方法,用以简化环形静电陀螺谐振器的制作工艺。采用(100)及(111)顶层硅的SOI,分别通过阳极键合工艺制作了硅基环形陀螺谐振器。分析了不同晶向下频率裂解的产生及对陀螺谐振的影响,同时通过仿真分析了晶向对双波腹与三波腹振型的影响程度。利用网络分析仪在真空腔内对器件进行扫频测试实验,得到了两种器件的幅频响应特性,讨论了双波腹与三波腹工作模态与晶向的关系。双波腹相对于三波腹更易受加工条件的影响,而相对的振动幅值更大。同时设计静电调谐的方法,解决了(111)晶向硅基双波腹存在的频率裂解较大的问题。

主 题 词：环形谐振器 阳极键合 静电调谐 

学科分类：080904[080904] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.13911/j.cnki.1004-3365.210353

馆 藏 号：203113536...