SiC热防护涂层制备工艺研究

作     者：陈明伟 邱海鹏 焦健 李秀倩 王宇 谢巍杰 

作者机构：中航复合材料有限责任公司 

出 版 物：《航空制造技术》 (Aeronautical Manufacturing Technology)

年 卷 期：2014年第57卷第15期

页      码：90-92,97页

摘      要：基于热力学理论分析和化学气相沉积工艺特点,设计了CVD-SiC工艺流程,进而在石墨基体上制备了SiC涂层。对涂层进行了SEM及XRD分析,考察了反应温度和体系压力对涂层形貌和结构的影响。研究表明,较低的体系压力有利于在较低的温度下制备高纯度的SiC涂层,在优化工艺条件下(n(H2)/n(MTS)=10,p=10kPa,t=1100℃)制备的SiC涂层结构致密,表面呈球形颗粒状,沿(111)面择优取向生长。

主 题 词：化学气相沉积 碳化硅涂层 热力学分析 

学科分类：080503[080503] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1671-833X.2014.15.018

馆 藏 号：203113538...