短中波红外长线阵拼接集成滤光片技术研究

作     者：王润福 王多书 范栋 李晨 王济洲 董茂进 Wang Runfu;Wang Duoshu;Fan Dong;Li Chen;Wang Jizhou;Dong Maojin

作者机构：兰州空间技术物理研究所空间环境材料行为及评价技术重点实验室甘肃兰州730000 兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室甘肃兰州730000 兰州空间技术物理研究所甘肃兰州730000 

出 版 物：《红外与激光工程》 (Infrared and Laser Engineering)

年 卷 期：2022年第51卷第6期

页      码：161-168页

摘      要：空间光谱成像技术的发展使得探测器阵列与分光元件的集成成为一种趋势,长线阵拼接集成滤光片是空间多光谱成像仪实现焦平面集成分光的关键器件,在我国空间多光谱成像光学系统中需求明显。设计了4通道短中波红外长线阵拼接集成滤光片,采用离子束辅助轰击的电子枪蒸发方法制备了各通道窄带滤光片,利用专门研制的工装探索了拼接工艺,研制出了短中波红外长线阵拼接集成滤光片。测试结果表明:集成滤光片各通道平均透射率达到90%,最小带宽为230 nm (中心波长为4.95μm),光谱性能与设计结果吻合,满足性能指标要求。最小拼缝宽度仅为10μm,拼缝不平行误差为1μm,集成滤光片设计结构和拼接强度能够耐受抗振性试验。该集成滤光片已经在空间光学遥感仪器上成功应用。

主 题 词：长线阵拼接集成滤光片 短中波红外 空间光谱成像 光学薄膜 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/IRLA20210463

馆 藏 号：203113538...