一种基于RF MEMS开关的四端口电子校准件设计

作     者：曹钎龙 吴倩楠 朱光州 陈玉 王俊强 李孟委 CAO Qianlong;WU Qiannan;ZHU Guangzhou;CHEN Yu;WANG Junqiang;LI Mengwei

作者机构：中北大学仪器与电子学院太原030051 中北大学前沿交叉科学研究院太原030051 中北大学微系统集成研究中心太原030051 中北大学理学院太原030051 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(61705200) 装备发展部新品项目(2018NW0026,2019NW0010) 中北大学青年学术带头人项目(QX201905) 

出 版 物：《微电子学》 (Microelectronics)

年 卷 期：2022年第52卷第3期

页      码：437-441页

摘      要：针对射频多端口器件微波测试需求,基于SOLT校准原理设计了一种工作频率在DC~12 GHz范围内、基于RF MEMS开关的四端口电子校准件。数值仿真结果表明,在短路状态下,器件的回波损耗小于0.15 dB;在直通状态下,器件的插入损耗小于0.5 dB,端口之间的隔离度大于20 dB;在开路状态下,器件的回波损耗小于0.3 dB,端口之间的隔离度大于25 dB;同时采用微表面加工工艺,利用磁控溅射工艺对负载电阻进行了制备,其测试结果约为50Ω,符合设计要求。设计的基于RF MEMS开关的四端口校准件,具有射频性能好、体积小、易于集成等优点,能够满足X波段微波多端口器件在片测试的应用需求。

主 题 词：RF MEMS 插入损耗 回波损耗 隔离度 微波校准 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.13911/j.cnki.1004-3365.210367

馆 藏 号：203113543...