基于ITO图形短路检测仪的精密运动平台的设计与分析

作     者：孟萍 李耀明 葛成重 孔维娜 郝慧敏 MENG Ping;LI Yao-ming;GE Cheng-zhong;KONG Wei-na;HAO Hui-min

作者机构：中北大学机械与动力工程学院山西太原030051 山西省深孔加工工程技术研究中心山西太原030051 北京清大天达光电科技有限公司北京101204 

出 版 物：《中北大学学报（自然科学版）》 (Journal of North University of China(Natural Science Edition))

年 卷 期：2015年第36卷第2期

页      码：171-175页

摘      要：随着现代制造技术的飞速发展,对精密运动平台的精度性能要求越来越高.通过对机架结构和驱动方式的对比分析,以及对滚动导轨和滚珠丝杠的选型分析,设计出了可供使用的ITO图形短路检测仪精密运动平台.重点分析了滚动导轨的位移分辨率,提出了提高工作台位移分辨率的主要措施.对比了工作台配磨前后的精度,并将其运用到实际的生产设备中,得出了精度的实验数据,证明了该运动平台的精度符合设计要求,验证了该平台的可实用性,对以后进行大尺寸、高精度运动平台的研究奠定了基础.

主 题 词：滚珠丝杠 滚动导轨 精密运动平台 ITO 图形短路检测仪 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1673-3193.2015.02.016

馆 藏 号：203113566...