电子轰击有源像素传感器光谱响应测试系统设计

作     者：严毅赟 钱芸生 张景智 韩坤 郑舟 柳磊 Yan Yiyun;Qian Yunsheng;Zhang Jingzhi;Han Kun;Zheng Zhou;Liu Lei

作者机构：南京理工大学电子工程与光电技术学院江苏南京210094 微光夜视技术重点实验室陕西西安710065 

基　　金：国防基础重点突破项目(JCKY2018208B016) 国防预研项目(41414020502) 

出 版 物：《激光与光电子学进展》 (Laser & Optoelectronics Progress)

年 卷 期：2022年第59卷第13期

页      码：113-118页

摘      要：电子轰击有源像素传感器(EBAPS)是一种利用真空技术将光阴极、电子敏感有源像素传感器(APS)芯片和基座封装成的真空-固体混合型微光器件。积分灵敏度是EBAPS重要的性能参数之一,但国内目前还缺乏相应的测试手段。因此,基于EBAPS的工作原理和微光像增强器的光谱响应测试方法,用数字-电子转换因子和输出信号得到的电子数对光谱响应度进行表征,并设计了EBAPS的光谱响应测试系统。利用该系统获得了EBAPS器件在−800 V工作电压下的光谱响应曲线,器件的积分灵敏度为3.2×10^(8)(s·lm)^(-1),重复度为0.65%。

主 题 词：探测器 电子轰击 有源像素传感器 光谱响应 测试系统 电子数 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/LOP202259.1304001

馆 藏 号：203113681...