MEMS惯性传感器自主标定系统设计

作     者：张河斌 秦刚 张和铭 Zhang Hebin;Qin Gang;Zhang Heming

作者机构：西安工业大学电子信息工程学院西安710021 

基　　金：陕西省重点研发项目(2019GY-076)资助 

出 版 物：《国外电子测量技术》 (Foreign Electronic Measurement Technology)

年 卷 期：2022年第41卷第7期

页      码：62-68页

摘      要：微机电系统(MEMS)惯性传感器标定系统是用于MEMS惯性传感器误差标定的设备。MEMS惯性传感器作为产品在使用前,需要对传感器的工作精度进行进一步标定,使传感器工作精度和稳定性达到预定性能指标。目前,用于MEMS惯性传感器的标定设备存在自动化程度低、结构冗杂、成本较高的特点,已经无法满足特殊环境下MEMS惯性传感器的批量生产需求。通过对传感器标定过程进行研究,设计了一种MEMS惯性传感器自主标定系统。并研究了一种基于摄像头延时的Double Fuzzy PID控制算法,提高设备的控制精度和工作稳定性。经过与常规PID控制方法进行仿真测试比较,测试结果表明,该基于摄像头延时的Double Fuzzy PID控制算法相较传统PID控制更适合完成对MEMS惯性传感器的高效批量生产。

主 题 词：MEMS惯性传感器 基于摄像头延时的Double Fuzzy PID 自动标定 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.19652/j.cnki.femt.2203819

馆 藏 号：203113704...