大功率射频板条CO_(2)激光器

作     者：唐霞辉 秦应雄 彭浩 李玉洁 吴洋 肖龙胜 肖瑜 柳娟 Tang Xiahui;Qin Yingxiong;Peng Hao;Li Yujie;Wu Yang;Xiao Longsheng;Xiao Yu;Liu Juan

作者机构：华中科技大学光学与电子信息学院湖北武汉430074 湖北第二师范学院物理与机电工程学院湖北武汉430205 厦门大学航空航天学院福建厦门361005 

出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期：2022年第49卷第12期

页      码：79-92页

摘      要：大功率射频板条CO_(2)激光器曾经是深熔焊接、切割的主力光源,目前主要用于超大规模集成电路晶圆退火。华中科技大学于2007年就开始了大功率射频板条CO_(2)激光器的研发,并进行大量的理论研究和产业化工作。本文介绍了射频板条CO_(2)激光器的国内外发展动态;重点分析了激光器的结构设计、(板条)面积放大、扩散冷却、激励电源、射频传输、阻抗匹配、射频气体放电等离子体、放电均匀性、电极热效应、非稳-波导混合腔、激光功率提取、输出光束特性、光束整形等核心技术;展望了射频板条CO_(2)激光器在超大规模集成电路晶圆激光退火中的重要创新应用。

主 题 词：激光器 大功率射频板条CO_(2)激光器 扩散冷却 非稳-波导混合腔 光束整形 射频激励 气体放电 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/CJL202249.1201005

馆 藏 号：203113753...