基于10kHz应用的高频晶闸管研制

作     者：贺振卿 贺书航 银登杰 操国宏 HE Zhen-qing;HE Shu-hang;YIN Deng-jie;CAO Guo-hong

作者机构：株洲中车时代半导体有限公司湖南株洲412001 新型功率半导体国家重点实验室湖南株洲412001 湖南工程学院湖南湘潭411104 

出 版 物：《电力电子技术》 (Power Electronics)

年 卷 期：2022年第56卷第7期

页      码：135-137页

摘      要：此处基于高频晶闸管的工作特点,从工艺及结构设计、硅片及扩散参数设计和光刻版图设计3个方面进行设计思考,确定了:高频晶闸管所采用的扩散工艺和与工艺相对应的杂质浓度分布;高频晶闸管所选用的硅片参数和扩散参数;通过对高频晶闸管开通特性的分析、仿真,设计了高频晶闸管阴极光刻版图。所研制出的3英寸高频晶闸管的工作频率达到了10 kHz。

主 题 词：高频晶闸管 频率 扩散 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-100X.2022.07.035

馆 藏 号：203113764...