两镜反射系统自适应装调技术研究

作     者：左晓舟 王章利 赵金 苏瑛 杨海成 惠刚阳 刘伟光 王中强 ZUO Xiaozhou;WANG Zhangli;ZHAO Jin;SU Ying;YANG Haicheng;HUI Gangyang;LIU Weiguang;WANG Zhongqiang

作者机构：西安应用光学研究所陕西西安710065 

基　　金：国防基础科研计划(JCKY2018208B029) 

出 版 物：《应用光学》 (Journal of Applied Optics)

年 卷 期：2022年第43卷第4期

页      码：780-786页

摘      要：为了满足两镜反射系统对光学元件高精度的装调、定位要求,以及系统工程化应用对可靠性与装调效率的要求,提出了一种基于人工神经网络(ANN)的自适应装调技术。基于矢量波像差理论分析两镜系统波像差与失调量的映射关系,在Keras框架下搭建ANN,并以非解析思路构建了自适应装调模型,开发了自适应装调装置,使失调次镜的平移调校精度优于2μm,倾斜调校精度优于2″,解决了算法设计与精度优化、反射镜组微应力固联等技术难题,并对某双抛无焦系统完成了自适应装调验证。试验结果表明:运用该装调技术,两镜反射系统装调后波像差优于λ/16、装调周期大幅缩短、装配可靠性通过环境试验考核,为该技术的工程化应用打下了基础。

主 题 词：两镜反射系统 神经网络 波像差 装调 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.5768/JAO202243.0405005

馆 藏 号：203113855...