基于微同轴技术的射频传输及器件设计

作     者：王蕴玉 闵志先 马强 WANG Yunyu;MIN Zhixian;MA Qiang

作者机构：中国电子科技集团公司第三十八研究所安徽省天线与微波工程实验室安徽230031 

出 版 物：《集成电路应用》 (Application of IC)

年 卷 期：2022年第39卷第8期

页      码：1-3页

摘      要：阐述射频微系统的微同轴结构在高频段、低损耗传输中的优势。探讨微同轴的基本结构及工艺流程,加工过程中存在的厚胶光刻、金属平坦化处理中的问题,分析国内相关单位在基于微同轴结构设计的功分器、滤波器、转换结构方面取得的进展。

主 题 词：射频微系统 微同轴 低损耗传输 Poly Strata 

学科分类：080903[080903] 0810[工学-土木类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 081001[081001] 

D　O　I：10.19339/j.issn.1674-2583.2022.08.001

馆 藏 号：203114080...