金刚石薄膜三维卷曲微结构的制备及其光学微腔研究

作     者：武楷博 田子傲 梅永丰 WU Kai-bo;TIAN Zi-ao;MEI Yong-feng

作者机构：复旦大学材料科学系上海200433 复旦大学智慧纳米机器人与纳米系统国际研究院上海200438 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海2000503 复旦大学光电研究院上海200438 复旦大学义乌研究院浙江322000 

基　　金：国家自然科学基金(61975035,51961145108) 上海科学技术委员会(21142200200,20501130700) 国家重点研发计划(2021YFE191800) 

出 版 物：《功能材料与器件学报》 (Journal of Functional Materials and Devices)

年 卷 期：2022年第28卷第4期

页      码：395-400页

摘      要：特征长度位于纳米至微米级尺度的三维(3D)微结构具有丰富而独特的性质与功能,成为了下一代微纳器件的重要组成部分。本文实现了通过应力工程将具有百纳米级厚度的纳米晶金刚石纳米薄膜卷曲构筑成微管、微环、微锯齿条带以及微弹簧等复杂三维微结构,观测到乙醇表面张力诱导金刚石纳米薄膜脱附衬底的现象。并且,本文研究了金刚石自卷曲微管的回音壁模式光谱特性及色心的腔耦合增强特性,通过精细结构设计实现了高阶谐振模式的有效调控。

主 题 词：金刚石 自卷曲 回音壁模式 光学微腔 

学科分类：07[理学] 070205[070205] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.20027/j.gncq.2022.0041

馆 藏 号：203114095...