小型单聚焦磁偏转质谱计及校准研究

作     者：董猛 孙雯君 郭美如 吴成耀 成永军 DONG Meng;SUN Wenjun;GUO Meiru;WU Chengyao;CHENG Yongjun

作者机构：兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室兰州730000 

基　　金：国家自然科学基金(61841106) 甘肃省杰出青年基金(18JR3RA413) 

出 版 物：《真空与低温》 (Vacuum and Cryogenics)

年 卷 期：2022年第28卷第4期

页      码：463-469页

摘      要：介绍了自主研制的单聚焦小型磁偏转质谱计物理单元和电路系统的设计参数及结构组成。对单聚焦小型磁偏转质谱计的质量数范围、分辨率和灵敏度进行了校准实验研究。研究结果表明,单聚焦小型磁偏转质谱计的质量数范围为1~134 amu,相对分辨率为35,电子倍增器模式下N_(2)、Ar和He的灵敏度分别为1.6×10^(-4)A/Pa、1.2×10^(-4)A/Pa和2.3×10^(-5) A/Pa。研制的单聚焦小型磁偏转质谱计在真空检漏和质谱分析领域具有广泛应用需求。

主 题 词：磁偏转质谱计 单聚焦 小型化 校准 

学科分类：08[工学] 0804[工学-材料学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1006-7086.2022.04.012

馆 藏 号：203114180...