用于车载激光雷达导电滤光膜的研究

作     者：付秀华 陈星聿 檀承启 朱忠尧 张静 张功 任仲举 马国水 Fu Xiuhua;Chen Xingyu;Tan Chengqi;Zhu Zhongyao;Zhang Jing;Zhang Gong;Ren Zhongju;Ma Guoshui

作者机构：长春理工大学光电工程学院吉林长春130022 长春理工大学中山研究院广东中山528400 北京空间机电研究所北京100049 光驰科技(上海)有限公司上海200444 

基　　金：国家自然科学基金(11973040) 吉林省科技发展计划国际科技合作项目(20210402065GH) 中国科学院国际伙伴计划(181722KYSB20200001) 

出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期：2022年第49卷第17期

页      码：22-29页

摘      要：为了使车载激光雷达视窗在大角度下具有高透过率并且具有除霜防雾的功能,研制了近红外导电滤光膜。选择SiH_(x)与SiO_(2)作为高、低折射率材料,调节氢气流量,改变SiH_(x)的折射率及消光系数,使得SiH_(x)可吸收可见光,同时在红外波段的吸收率较低,最终薄膜外观呈黑色。利用软件Macleod与Optilayer设计并优化膜系,使薄膜在(905±30)nm波段增透,同时减低了大角度入射时的光谱偏移量。在滤光膜最外层加镀了一层氧化铟锡(ITO)薄膜,通过调整工艺参数,在不影响光谱性能的前提下降低了方块电阻值。经测试,所制备的导电滤光膜在入射角为0°时的平均透过率为92.58%,入射角为30°时的透过率为91.9%,方块电阻值达到24Ω/square,适用于车载激光雷达视窗。

主 题 词：薄膜 光学薄膜 氧化铟锡 方块电阻 磁控溅射 

学科分类：0810[工学-土木类] 08[工学] 0804[工学-材料学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/CJL202249.1703101

馆 藏 号：203114220...