谐振式无线无源温度传感器的高温性能优化与设计

作     者：许福佳 苏淑靖 张丽丽 任婷 Xu Fujia;Su Shujing;Zhang Lili;Ren Ting

作者机构：中北大学仪器与电子学院太原030051 中北大学省部共建动态测试技术国家重点实验室太原030051 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(51875534) 创新研究群体科学基金资助项目(51821003) 

出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)

年 卷 期：2022年第59卷第9期

页      码：905-910页

摘      要：基于谐振腔理论设计了一款适合在超高温下工作的无线无源温度传感器。通过对传感器进行建模分析,研究了传感器的各项参数对谐振频率的影响,确定了传感器的最佳结构尺寸。并且根据优化结果进行传感器的制作。该传感器以氧化铝陶瓷作为基底,采用丝网印刷技术将缝隙天线集成到基底上。最后,搭建测试平台对传感器的性能进行测试。结果表明,25~400℃时传感器的灵敏度为66.667 kHz/℃,400~1 000℃时传感器的灵敏度为216.667 kHz/℃。经过实验测试证明该传感器可应用于航空航天等领域的高温测量。

主 题 词：传感器 谐振腔 无线无源传感器 高温 氧化铝陶瓷 谐振频率 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.13250/j.cnki.wndz.2022.09.011

馆 藏 号：203114449...