氮化铝压电微机电系统轮廓模式谐振器技术及应用

作     者：俞燕 王璐烽 丁芩华 何杰 YU Yan;WANG Lufeng;DING Qinhua;HE Jie

作者机构：重庆工业职业技术学院重庆401120 苏州中材非金属矿工业设计研究院有限公司江苏苏州215004 中国电子科技集团公司第二十六研究所重庆400060 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2022年第44卷第4期

页      码：667-672页

摘      要：压电微机电系统(MEMS)为各种高性能滤波器、振荡器和传感器等提供了一个多功能平台。氮化铝(AlN)MEMS轮廓模谐振器(CMR)具有工作频率跨度大,品质因数高,体积小及能在单个芯片上集成多频器件且与集成电路(IC)技术兼容等优点,具有较好的应用前景。该文对AlN MEMS CMR的原理与典型结构、制备工艺及应用进行了综合性阐述,并分析了CMR技术未来的发展方向。

主 题 词：压电微机电系统 氮化铝 轮廓模式谐振器 滤波器 振荡器 射频前端模块 

学科分类：080904[080904] 080902[080902] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.11977/j.issn.1004-2474.2022.04.030

馆 藏 号：203114455...