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射频负离子源中朗缪尔探针诊断系统研制

射频负离子源中朗缪尔探针诊断系统研制

作     者:彭旭峰 许永建 于玲 刘伟 顾玉明 汪日新 谢亚红 谢远来 胡纯栋 PENG Xu-feng;XU Yong-jian;YU Ling;LIU Wei;GU Yu-ming;WANG Ri-xin;XIE Ya-hong;XIE Yuan-lai;HU Chun-dong

作者机构:安徽大学物质科学与信息技术研究院合肥230601 中国科学院合肥物质科学研究院等离子体物理研究所合肥230031 

基  金:中国聚变堆主机关键系统综合研究设施(2018-000052-73-01-001228) 中国科学院合肥科学中心协同创新计划(2020HSC-CIP016) 国家自然科学基金(11975262) 

出 版 物:《核聚变与等离子体物理》 (Nuclear Fusion and Plasma Physics)

年 卷 期:2022年第42卷第3期

页      码:342-346页

摘      要:设计了一套朗缪尔探针诊断系统用于射频负离子源中等离子体参数的诊断。在测试平台上对探针进行了测试,获得了探针的V-I特性曲线,由此得到了等离子体的电子密度分布和电子温度分布,并与微波干涉仪(MWI)的测量结果进行了对比,结果表明该探针的诊断结果可以反映等离子体参数的变化。

主 题 词:射频负离子源 朗缪尔探针 等离子体参数 微波干涉仪 

学科分类:08[工学] 082701[082701] 0827[工学-食品科学与工程类] 

D O I:10.16568/j.0254-6086.202203013

馆 藏 号:203114461...

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