甚长波碲镉汞探测器的注入区扩散研究

作     者：刘世光 邢艳蕾 张敏 张轶 吴卿 王成刚 LIU Shi-guang;XING Yan-lei;ZHANG Min;ZHANG Yi;WU Qing;WANG Cheng-gang

作者机构：华北光电技术研究所北京100015 

出 版 物：《激光与红外》 (Laser & Infrared)

年 卷 期：2022年第52卷第9期

页      码：1374-1377页

摘      要：在碲镉汞甚长波320×256探测器上制备了不同注入区光刻尺寸的区域,通过对不同区域的信号及注入光刻尺寸的关系进行分析对比和数据拟合,获得了不同温度下的扩散距离和单位有效光敏面积在单位时间的响应电压,对于碲镉汞甚长波探测器的器件版图设计和性能提升提供了可靠的数据支撑。

主 题 词：甚长波 碲镉汞 注入区 

学科分类：08[工学] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-5078.2022.09.017

馆 藏 号：203114462...