表面微加工中镍的微电铸

作     者：吕文龙 陈义华 孙道恒 Lu Wenlong;Chen Yihua;Sun Daoheng

作者机构：厦门大学厦门361005 厦门大学厦门361005 厦门大学厦门361005 

基　　金：福建省自然科学基金资助项目(A0110003) 福建省科技计划重点项目(2002H022) 

出 版 物：《中国机械工程》 (China Mechanical Engineering)

年 卷 期：2005年第16卷第z1期

页      码：407-409页

摘      要：介绍了微电铸工艺的基本原理以及脉冲电铸的特点.搭键了电铸实验系统,通过对Watts镍电解液的成分实验得到了一种性能较好的成分配比.利用微电铸的方法制作出微机械隧道陀螺仪中的悬臂梁、挡板、驱动电极等MEMS结构,得到了一组较有价值的电铸参数,对电铸中存在的问题进行了阐述.实验结果表明,采用方波脉冲电铸能够得到晶粒粗细均匀、硬度和应力符合设计要求的悬臂梁等MEMS结构.

主 题 词：微电铸 脉冲 表面微加工 镍 

学科分类：081702[081702] 08[工学] 0817[工学-轻工类] 0802[工学-机械学] 0801[工学-力学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.145

馆 藏 号：203114597...