微电子洁净技术领域空气化学污染控制研究进展

作     者：车玉伶 Che Yuling

作者机构：中国电子工程设计院有限公司北京 

出 版 物：《暖通空调》 (Heating Ventilating & Air Conditioning)

年 卷 期：2022年第52卷第10期

页      码：156-160,22页

摘      要：微电子洁净室内空气化学污染严重影响产品质量和良品率。随着集成电路特征尺寸的日渐微小,空气化学污染控制要求越来越严。本文针对微电子产业洁净技术领域空气化学污染现状和控制技术进行了研究和综述,主要包括污染定义,污染物类别,空气洁净度AMC/ACC等级划分,污染物来源、危害,污染控制策略,污染控制技术。对其发展趋势进行了展望。

主 题 词：微电子 洁净技术 空气分子污染 空气化学污染 污染控制 研究进展 

学科分类：07[理学] 08[工学] 070602[070602] 0706[理学-大气科学类] 081404[081404] 0814[工学-地质类] 

D　O　I：10.19991/j.hvac1971.2022.10.23

馆 藏 号：203114623...