小口径深度凸非球面的高精度面形检测

作     者：刘佳妮 陈安和 李智勇 夏方园 刘丙才 李世杰 Liu Jiani;Chen Anhe;Li Zhiyong;Xia Fangyuan;Liu Bingcai;Li Shijie

作者机构：西安空间无线电技术研究所陕西西安710000 西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室陕西西安710021 

基　　金：陕西省科技厅产业链项目(2021 ZDLGY12-05) 中国博士后第69批科学基金(2021 M693949) 

出 版 物：《红外与激光工程》 (Infrared and Laser Engineering)

年 卷 期：2022年第51卷第9期

页      码：76-83页

摘      要：凸非球面反射镜在反射式光学系统中的应用非常广泛,但其面形高精度检测一直是光学制造领域的难题。为了实现小口径、深度凸非球面的面形高精度检测,提出了一种基于计算全息图(Computer Generated Hologram,CGH)的零位干涉检测技术。首先,详细阐述了该技术的检测原理和方法,给出了计算全息中补偿测试全息和对准标记全息设计过程中的技术要点;然后结合工程应用,针对口径15 mm、顶点曲率半径11.721 mm、非球面度达到72μm的深度凸非球面,设计并制造了相应的CGH补偿元件,完成了相应零位干涉检测系统的搭建和检测实验;最后,与Luphoscan的检测结果交叉对比,验证了该检测方法的准确性。该技术为小口径凸非球面的高精度检测提供了一种有效的方法,具有显著的工程应用价值。

主 题 词：面形检测 凸非球面 计算全息图 干涉 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/IRLA20220190

馆 藏 号：203114635...