一种MEMS平板型同位素微电池的设计与制作

作     者：董鹏 苑伟政 乔大勇 DONG Peng;YUAN Wei-zheng;QIAO Da-yong

作者机构：西北工业大学陕西省微/纳米系统重点实验室西安710072 

基　　金：国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(No.N7HM0006) 

出 版 物：《功能材料与器件学报》 (Journal of Functional Materials and Devices)

年 卷 期：2008年第14卷第2期

页      码：319-322页

摘      要：针对倒三角直槽型或倒金字塔型能量转换结构的同位素微电池难于加工以及放射性薄膜不均匀等缺陷,设计了一种较为简单的平板型能量转换结构。引入金属区这一结构,增强了放射源薄膜的接触稳定性。63N i放射源电镀实验最终得到了一组理想的短路电流和开路电压数据。结果表明,该结构与传统的能量转换结构相比有更稳定的功率输出。

主 题 词：MEMS 同位素^63Ni微电池 平板型能量转换结构 剥离工艺 源活度 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.008

馆 藏 号：203114773...