表面等离子体共振膜系结构优化设计

作     者：洪小刚 徐文东 赵成强 唐晓东 

作者机构：中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室上海201800 华东师范大学信息科学技术学院上海200241 

基　　金：国家自然科学基金重大项目(60490294) 上海曙光计划(06SG30)资助课题 

出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期：2010年第30卷第7期

页      码：2164-2169页

摘      要：Kretschmann型激发表面等离子体共振(SPR)膜系结构是探针诱导表面等离子体共振耦合纳米光刻技术(PSPRN)的关键部分之一。采用多层介质的特性矩阵法计算膜系结构的透射系数和反射率,对PSPRN所需的单膜层、双膜层及三膜层膜系结构进行了优化设计。计算结果表明,光波波长为514.5 nm时,对于选定材料的最佳膜系结构是Ag膜厚度为46 nm的单膜层结构,Ag膜厚度为24 nm,AgOx厚度为95 nm的双膜层结构及Ag膜厚度为44 nm,SiO2厚度为180 nm,AgOx厚度为10 nm的三膜层结构,提出了记录层材料应选择折射系数小且吸收系数尽可能小的光刻材料的观点。

主 题 词：薄膜光学 表面等离子体共振膜系结构 特性矩阵法 透射系数 反射率 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/aos20103007.2164

馆 藏 号：203114868...