多维数字补偿电流/频率转换器系统级封装技术

作     者：汪金华 潘协根 沈时俊 庄永河 李鸿高 WANG Jin⁃hua;PAN Xie⁃gen;SHEN Shi⁃jun;ZHUANG Yong⁃he;LI Hong⁃gao

作者机构：中国电子科技集团公司第四十三研究所微系统安徽省重点实验室合肥230088 长庆油田分公司机械制造总厂西安710200 

出 版 物：《导航与控制》 (Navigation and Control)

年 卷 期：2022年第21卷第3期

页      码：85-91页

摘      要：在航空航天、工业自动化等领域,电流/频率转换器主要是对加速度计等电路输出电流进行高精度测量。随着工业技术的发展,对电流/频率转换器的小体积和高性能提出了越来越高的需求。在典型电荷平衡式拓扑结构基础上,提出了一种新的融合模拟电路及多维数字算法补偿的电流/频率转换电路拓扑方案。其引入分流电路,采用改进的展宽复位逻辑控制算法,并利用单片机进行标度因数温度补偿、非线性补偿和零偏补偿,产品性能较原方案提升1~2个数量级。在工艺结构设计方面,为减小产品体积,对部分子电路进行了多芯片组件系统级封装(System in a Package,SiP)集成设计,通过优化布局布线并对数字板和模拟板进行三维堆叠组装,相对便捷地实现了电路的小型化设计。经数轮迭代,研制的产品经测试性能优异,非线性度小于1.5×10^(-5),零偏小于6nA,标度因数温度系数小于1×10^(-7)/℃,尺寸仅为80mm×60mm×15mm。

主 题 词：电流/频率转换器 数字算法补偿 系统级封装 三维堆叠 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1674⁃5558.2022.h3.010

馆 藏 号：203114886...