一种电磁力驱动的无阀微泵的气体泵送特性

作     者：祁俊霞 张玉东 徐献忠 邱京江 卫荣汉 Qi Junxia;Zhang Yudong;Xu Xianzhong;Qiu Jingjiang;Wei Zonhan

作者机构：郑州大学力学与安全工程学院 郑州大学智能传感研究院郑州450001 

基　　金：国家自然科学基金项目(12102397) 中国博士后科学基金项目(2019M662521) 

出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)

年 卷 期：2022年第59卷第11期

页      码：1177-1183页

摘      要：基于微流体在锥形通道内流动的非对称性,设计并制作了一种电磁力驱动的扩散管/汇聚管型无阀微泵,该微泵主体部分由嵌有微型线圈的聚二甲基硅氧烷(PDMS)振动膜和含有微米级锥形管的泵体组成。当在微型线圈中通入交流电信号,线圈中会产生周期性变化的磁场,与外部永磁体产生的恒定磁场相互作用产生振动,并带动PDMS振动膜往复运动。为了提高微泵的泵送性能,将30个锥形管并排连接到泵腔和微泵的进出口处。之后对制备的微泵的性能进行测试,分析了泵送气体的方向,并探究了驱动电压幅值和驱动频率对泵送气体体积流量的影响。测试结果表明,所设计的无阀微泵能够向锥形通道的扩散方向泵送气体,且随着驱动电压和驱动频率的增大,泵送气体体积流量增加。

主 题 词：微流体 无阀微泵 扩散管/汇聚管 聚二甲基硅氧烷(PDMS)振动膜 电磁力驱动 

学科分类：080704[080704] 080103[080103] 08[工学] 0807[工学-电子信息类] 0801[工学-力学类] 

D　O　I：10.13250/j.cnki.wndz.2022.11.010

馆 藏 号：203114911...