基于红外双光路的薄膜在线测厚系统的研究

作     者：曹智颖 赵斌 CAO Zhiying;ZHAO Bin

作者机构：华中科技大学机械科学与工程学院仪器科学与技术系武汉430074 

基　　金：国家九七三重点基础研究发展计划资助项目(2013CB035405) 

出 版 物：《激光技术》 (Laser Technology)

年 卷 期：2014年第38卷第2期

页      码：196-200页

摘      要：红外测厚是薄膜在线测厚的主要方法之一,为了解决传统的红外测厚方法中尚存在的易受光源稳定性的影响、不适用于高速薄膜生产线等缺点,采用双光路参比测量的方法设计了一种双光路红外测厚系统,系统将光源的光分成测量路和参考路两路,并使用单个CCD同时收集两路光作为光强传感器。描述了系统的成像原理,讨论了系统对朗伯定律的适用性,最后通过对聚乙烯和聚四氟乙烯薄膜的标定实验论证了系统的精度。结果表明,该方法精度高、鲁棒性好,且能够有效避免光源不稳定带来的影响。

主 题 词：测量与计量 薄膜测厚 红外 双光路 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2014.02.011

馆 藏 号：203115035...